LB法による有機超薄膜の作製と構造制御: 金属含有LB膜を用いたカーボンナノチューブの作製と構造制御

摘要

カーボンナノチューブを利用したセンサをCVDで作製 するために，局所的にカーボンナノチューブを成長させる ことを試みた．SiO_2膜を触媒層の保護被覆層として用い， 後からFIBにより被覆層を除去することで所望の場所にカ ーボンナノチューブの局所成長が可能になった．これは複 雑な半導体リソグラフィーの技術を用いることなく，トッ プダウンとボトムアップの両方を組み合わせた手法であ る．