ULSI製造における化学的機械研磨とトライボケミストリー

机译：ULSI制造业化学机械抛光和部落墨水

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CMPは，スラリー成分の化学作用と砥粒の機械作用の複合効果により，被研磨材を研磨，エッチングするとされている．今後，ますます厳しくなる研磨精度向上の要求に対応していくためには，被研磨面や砥粒表面と研磨液との吸着や反応などの化学作用と二面間の摺動との相互作用を理解し，スラリー設計，プロセス設計へ反映させていく必要がある．ここでは，素子分離工程に適用するSiO_2のCMPプロセスおよび配線形成工程に適用するCuのCMPプロセスについて，筆者らが行なった事例を紹介する．

机译：应该用浆料组分的化学作用和磨料晶粒的机械操作的化学作用抛光和蚀刻CMP和蚀刻。为了满足提高抛光精度的需求，将越来越严重，化学作用之间的相互作用如待抛光的表面和磨料表面和抛光液以及两个表面之间的滑动是必要的，以了解并将它们反映到浆料设计和过程设计。在这里，我们将介绍作者对Cu的CU的CMP过程进行了应用于SiO_2 CMP工艺和应用于元件隔离过程的布线形成过程。

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来源
《トライボロジー会議》|2009年||共2页
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作者
西岡岳;
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中图分类 TH117.1-53;
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机译：已故瑞士的已故Ketspi Yo“ Rossappi Fine Paper Europe”永久关闭了位于瑞士的Piberist印刷厂。所有产品的年产量将于8月底在同一家工厂停产。该公司长期以来一直在考虑关闭Piberist工厂，并宣布将于3月底开始与员工代表和联合创始人进行谈判。在欧洲的高质量铜版纸和高质量纸市场中，由于长期产能过剩，Sappi无法将原燃料成本的急剧上升转嫁到产品价格上。在Piberist工厂，第六号造纸机每年的产量为65,0∝）f，第八号造纸机的年产量为160,000，而九号造纸机的年产量为275，a）f。我们处在无法提高应有利润的情况下。
2. ミニ60年目のサプライズMINI 602019年は、ミニにとって誕生60周年を祝うァニバーサリーィャー。そんな特別な年を記念して、早くも特別限定モデルのMINI 60 Years Editionが本国で発表された。今日まで受け継がれるミニの基本的なパッケージングは、すでに60年前に確立されたもの。ミニの生みの親であるサ!ァレック•イシゴニスは、ミニマムなボディサイズと大人4人が快適に乗れる室内空間を両立させるため、エンジンをフロントに横置きして前輪駆動とするアイデァを考案。今日のコンパクトカ-の公式をつくり上げた。さらに走りの素性の良さに着目したジョン•ク-パ-が、ミニにチュ-ニングを施したミニ•ク-パ-を製作。軽量な車体と俊敏なハンドリン [J] . ニューミニ·スタイルマガジン/New Mini Style Magazine . 2019,第JUNa期

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3. ミニ60年目のサプライズMINI 602019年は、ミニにとって誕生60周年を祝うァニバーサリーィャー。そhな特別な年を記念して、早くも特別限定モデルのMINI 60 Years Editionが本国で発表された。今日まで受け継がれるミニの基本的なパッケージングは、すでに60年前に確立されたもの。ミニの生みの親であるサ!ァレック•イシゴニスは、ミニマムなボディサイズと大人4人が快適に乗れる室内空間を両立させるため、エンジンをフロントに横置きして前輪駆動とするアイデァを考案。今日のコンパクトカ-の公式をつくり上げた。さらに走りの素性の良さに着目したジョン•ク-パ-が、ミニにチュ-ニングを施したミニ•ク-パ-を製作。軽量な車体と俊敏なハンドリン [J] . ニューミニ·スタイルマガジン/New Mini Style Magazine . 2019,第Juna期

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4. ULSI製造における化学的機械研磨とトライボケミストリー [C] . 西岡岳トライボロジー会議 . 2009

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机译：“下一代生物氢能 - 瞄准可再生能源创造和转换 - ”（kommuninza）母鸡/“环境化学工程缺乏机器基础知识和生产网站的绿色化学实践 - Hori-越荣誉荣誉，kikuchi，ohashi kenji

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