放物面ミラーの超精密ELID 研削 (第2報)～砥石断面を有効に利用した加工手法の効果

摘要

近年の光学素子の研究開発には，超精密化と高効率化が求められている．特に非球面レンズやｆθレンズ，プリズム，回折格子や導光板などの光学素子はナノメータレベルの加工精度や形状精度及び繰り返しの精度を必要とされており，この補正などのフィードバックにも超精密な加工技術と計測技術の密接な連携が必要不可欠である．そこで超精密機械加工技術と超精密研削法である電解インプロセスドレッシング(ELID)研削法を適用することで，近年進歩の著しい超精密光学素子の開発技術として応用が期待されている．そこでガラスセラミックスであるZERODUR 材の放物面ミラーの超精密加工を目的として，本報では4 軸超精密油静圧加工機でELID 研削法を使用して加工実験を行った．砥石のツルーイング精度を生かし砥石表面を有効に活用した加工を適応したので報告する．