ELID研削法と磁気研磨法を組み合わせたナノレベル鏡面加工法の開発－第1報：超硬合金の鏡面仕上げにおける加工効率と表面品位の向上

摘要

ELID（電解インプロセスドレッシング）研削法は硬質材料に対しでナルベルの鏡面加工が実現できることから，近年，超硬合金などが用いられるガラスレンズ金型の鏡面加工への適用が期待されている．一方，磁気研磨法は，切削／研削加工後の加工痕の除去や微細なバリ取り作業などに優れた効果を有しており，金型の最終鏡面仕上げ工程への広範な適用が期待されている．本研究では，ELID研削法と磁気研磨法の組み合わせにより，効率的なナルベル鏡面加工の実現性について検討した．本報では，ガラス成形金型などに用いられる超硬合金に対して，まずELID研削法を適用した後，微細研削痕の除去に磁気研磨法を応用して，その効果および加工特性を調べた．その結果，本法によって加工面の高品位化とともに，仕上げ加工効率を著しく改善することができた．