一种新型金刚石砂轮的制备方法及微结构阵列的高效超精密加工方法

摘要

一种新型金刚石砂轮的制备方法及微结构阵列的高效超精密加工方法，涉及微结构功能表面的超精密机械加工领域，为了解决现有微结构阵列超精密加工技术的砂轮极易磨损导致面形精度损失及磨削加工效率低的问题。将待加工金刚石砂轮安装在竖直放置的磨削主轴上，将修整轮安装在水平放置的修整主轴上，磨削主轴的轴线和修整主轴的轴线相互垂直，采用修整轮预修整金刚石砂轮，激光头可绕激光焦点在竖直方向进行角度调整，利用激光头在金刚石砂轮外圆表面上加工砂轮表面轮廓结构。采用金刚石砂轮对加工工件的表面进行超精密磨削加工，获得具有纳米级表面粗糙度的平面，再进行超精密磨削加工，获得微结构阵列。本发明适用于加工微结构阵列。