導電性DLC成膜に向けた大気圧·準大気圧プラズマを用いた成膜技術の開発

摘要

我々はこれまでに大気圧グロー放電プラズマを用いることで，高速成膜が可能なDLC成膜装置の開発を行なってきた。本研究では，平行平板電極を用いて大気圧·準大気圧下でグロー放電プラズマを生成し，さらに成膜時の基板温度制御を行なうことで導電性DLCを成膜する装置開発を目的とする。