誘電ボロメータ型赤外線センサの高性能化を実現する強誘電体薄膜の開発

摘要

誘電ボロメータ型赤外線センサ用検知材料として、種々の強誘電体薄膜に着目し、PLD法、化学溶液堆積法などの製膜法により、材料開発を行っている。本報告ではPb(Sc_0.5，Ta_0.5)O_3、Ba(Ti, Zr)O_3を中心とし、他材料を詳細に紹介できなかったが、Ba(Ti, Sn)O_3薄膜など、組成比や製膜·熱処理条件の最適化により、赤外線センサの高感度化を実現する高いTCDを示す強誘電体薄膜材料を見出しており、本赤外線センサは今後実用化と新たな応用展開力が期待できると考えている。