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铁电薄膜热释电非致冷红外传感器研究

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摘要

阐述了铁电薄膜热释电非致冷红外传感器的工作原理,对铁电薄膜材料的要求及sol-gel铁电薄膜电性能.研究了BST铁电薄膜红外传感器的制备工艺与测试方法.研制出单元和8元、9元、10元线列铁电薄膜热释电非致冷红外传感器.

著录项

来源
《仪表技术与传感器》|2004年第2期|3-4,28|共3页
作者
刘梅冬; 陈实; 李元昕; 曾亦可; 姜胜林; 邓传益; 刘少波;
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作者单位

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

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华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微光技术、微光夜视仪;
关键词
铁电薄膜; BST; 热释电性; 非致冷; 红外传感器;
入库时间 2023-07-25 10:56:17

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