机译:SiF_4-H_2-He PECVD低温沉积微晶硅薄膜的生长机理研究
机译:从非晶态到微晶态:在低频感应耦合等离子体中快速合成氢化硅薄膜的相变
机译:非晶态至微晶态相变附近沉积的P型氢化氧化硅薄膜及其在太阳能电池中的应用
机译:SIF_4-H_2 - HE等离子体沉积的硅膜中的无定形对微晶相转变的增强
机译:等离子体沉积非晶硅薄膜的表面反应性,粗糙度和结晶度的原子分析。
机译:通过Ar / O等离子体后处理的简单方法显着提高VO2薄膜的相变性能和透光率
机译:在低温下通过等离子体沉积的无定形,多晶态和微晶硅薄膜