机译:尾态联合密度法研究氢化非晶碳化硅薄膜的室温光致发光光谱及其在等离子体沉积氢化非晶碳化硅薄膜中的应用
机译:在低温下通过等离子体沉积的微晶硅薄膜中的杂相生长增强了化学气相沉积
机译:在低温(300℃)化学气相沉积工艺中采用氢等离子体和硅自由基的新型双注入系统沉积微晶/非晶硅薄膜
机译:低温等离子体沉积微晶硅薄膜。稳定薄膜晶体管的新兴材料
机译:氢化非晶硅,微晶硅和硅基合金薄膜的沉积和表征。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:掺杂在低衬底温度下通过热线化学气相沉积法沉积的非晶硅和微晶硅膜
机译:等离子体沉积的薄氮化硅薄膜在700℃的温度下的粘附,摩擦和磨损