机译:密封等离子体辅助原子层沉积制备的多孔低k SiOC(-H)薄膜中的孔的方法
机译:利用超临界二氧化碳中溶解的氯硅烷进行低k膜功能化和孔密封的研究
机译:多孔Low-k膜上原子层沉积TaN沉积的蚀刻副产物孔密封
机译:通过紫外线辅助工艺修复和修复低k膜
机译:在有机硅玻璃介电薄膜和新兴的非晶材料上的等离子体相互作用-进行孔密封和化学改性的方法。
机译:用于进一步缩小超大型集成器件-Cu互连的等离子增强化学气相沉积SiCH膜的低k覆盖层的材料设计
机译:低k商程集成到集成电路中的孔密封
机译:使用X射线反射率的低k介电薄膜中的孔表征:X射线孔隙率测定法