Micro-electro-mechanical systems; Actuators; Micromachining;
机译:通过使用双夹紧梁测量热敏电导率和多晶硅薄膜的热膨胀系数
机译:用于钛酸锆钛酸盐微致动器的电子束蒸发多晶硅
机译:磷掺杂的多晶硅发射极晶体管的类似杂发射极的特性。第一部分:通过电学测量获得的多晶硅发射极中的能带结构
机译:Polysilicon热微型执行器的力测量
机译:钨纤维增强的Kanthal金属基复合材料中的热残余应力的声弹评估和中子衍射测量。
机译:用于宽带纳米力学性能测量的光热激发力调制显微镜
机译:扭转摆力测量的热噪声限制:在卡西米尔力及其热校正中的应用