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Symposium on Micromachining and Microfabrication
Symposium on Micromachining and Microfabrication
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1.
Stacked multichip-module technology for high-performance intelligent transducers
机译:
用于高性能智能传感器的堆叠多芯片模块技术
作者:
Siebe Bouwstra
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
2.
Stacked multi-chip-module technology for high performance intelligent transducers
机译:
用于高性能智能传感器的堆叠多芯片模块技术
作者:
Siebe Bouwstra
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Multi-chip-module;
Flip-chip;
Eutectic bonding;
Electrodepositable photoresist;
Feedthroughs;
Stacking;
3.
Stress-induced warpage and the compensation in a composite micro-accelerometer
机译:
应激引起的翘曲和复合微加速度计的补偿
作者:
G. X. Li
;
R. J. Gutteridge
;
D. N. Koury Jr.
;
Z. I. Zhang
;
R. M. Roop
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Stress;
Polysilicon;
Silicon nitride;
Thin film;
Micro-accelerometer;
Sensor;
Microelectro-mechanical systems (MEMS);
4.
Numerical analysis of an optical motor based on the radiation pressure
机译:
基于辐射压力的光学电动机的数值分析
作者:
Yoshiro Ohmachi
;
Kazuhiro Baba
;
Eiji Higurashi
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
5.
Numerical analysis of an optical motor based on the radiation pressure
机译:
基于辐射压力的光学电动机的数值分析
作者:
Yoshiro Ohmachi
;
Kazuhiro Baba
;
Eiji Higurashi
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Optical rotator;
Optical tweezers;
Optical trapping;
Radiation pressure;
Optical manipulation;
Gaussian beam;
Micromechanics;
Polystyrene latex sphere;
6.
Mercury-contact switching with gap-closing microcantilever
机译:
汞接触切换,带间隙关闭微电子
作者:
Scott Saffer
;
Jonathan Simon
;
Chang-Jin Kim
;
Kyung Ho Park
;
Jong Hyun Lee
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Mercury relay;
Electrostatic relay;
Mercury contact;
Microrelay;
Polysilicon relay;
7.
Mercury-contact switching with gap-closing microcantilever
机译:
汞接触切换,带间隙关闭微电子
作者:
Scott Saffer
;
Jonathan Simon
;
Chang-Jin Kim
;
Kyung H. Park
;
Jong-Hyun Lee
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
8.
Thermopneumatical micropump and microvalves for a medical analyzing system
机译:
用于医疗分析系统的热气体微泵和微型阀
作者:
Z. Sbiaa
;
H. Camon
;
D. Esteve
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Microsystems;
Micropumps;
Microvalves;
3D packaging;
Actuators;
9.
Applications of bipolar compatible epitaxial polysilicon
机译:
双极兼容外延多晶硅的应用
作者:
P. T. J. Gennissen
;
P. J. French
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Polysilicon;
Epipoly;
Compatible processing;
Accelerometer;
Thermal actuator;
10.
Planar surface-micromachined pressure sensor with a subsurface embedded reference pressure cavity
机译:
平面表面微机械压力传感器,具有地下嵌入式参考压力腔
作者:
William P. Eaton
;
James H. Smith
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
11.
Planar surface-micromachined pressure sensor with a sub-surface, embedded reference pressure cavity
机译:
具有子表面,嵌入式参考压力腔的平面表面 - 微机械压力传感器
作者:
W. P. Eaton
;
J. H. Smith
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Embedded MEMS;
Pressure sensor;
Pressure transducer;
Vacuum encapsulation;
12.
Development and fabrication of a rotary micropump and its industrial and medical applications
机译:
旋转微泵及其工业和医疗应用的开发和制造
作者:
Thomas Weisener
;
Gerald Vogele
;
Mark Widmann
;
Carlo Bark
;
Rolf Dieter Schraft
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Micropump;
Fluidics;
Electro-discharge-machining;
Catheter;
Micromotor;
13.
Semiconductor acceleration sensor
机译:
半导体加速度传感器
作者:
Katsumichi Ueyanagi
;
Mitsuo Kobayashi
;
Tomoaki Goto
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Acceleration sensor;
Piezoresistor;
Offset;
Thermal expansion;
Plasma etching;
14.
Strain sensitive resonant gate transistor
机译:
应变敏感谐振栅极晶体管
作者:
Shun-ichi Miyazaki
;
Takashi Yoshida
;
Kyoichi Ikeda
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
15.
Design considerations of the electrical contacts in (micro) relays
机译:
设计(微)继电器的电触点的设计考虑因素
作者:
Hocine Ziad
;
Kris Baert
;
Harrie A. Tilmans
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
16.
Micromachined rotating yaw-rate sensor
机译:
微机械旋转偏航速率传感器
作者:
Rob Yates
;
Connel Williams
;
Chris Shearwood
;
Phil Mellor
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
17.
A micromachined rotating yaw rate sensor
机译:
微机械旋转偏航速率传感器
作者:
Rob Yates
;
Connel Williams
;
Chris Shearwood
;
Phil Mellor
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Gyroscope;
Levitation;
Micromachine;
MEMS;
Rate sensor;
18.
Strain sensitive resonant gate transistor
机译:
应变敏感谐振栅极晶体管
作者:
Shun-ichi Miyazaki
;
Takashi Yoshida
;
Kyoichi Ikeda
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
RGT;
CMOS processing;
Surface-micromachining;
Sticking problem;
Strain gauge;
Adhesion energy;
19.
Design considerations of the electrical contacts in (micro) relays
机译:
设计(微)继电器的电触点的设计考虑因素
作者:
Hocine Ziad
;
Kris Baert
;
Harrie A. C. Timans
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Hard-contact relays;
Contact resistance;
Contact force;
Contact area;
Alien/contaminating film;
20.
Semiconductor acceleration sensor
机译:
半导体加速度传感器
作者:
Katsumichi Ueyanagi
;
Mitsuo Kobayashi
;
Tomoaki Goto
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
21.
Antenna-coupled rectifying diode for IR detection
机译:
用于IR检测的天线耦合整流二极管
作者:
Hideaki Yamagishi
;
Hitoshi Hara
;
Nobuhiko Kanbara
;
Yasushi Onoe
;
Naoki Kishi
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Antenna-coupled device;
Schottky barrier diode;
Rectifying diode;
Focused ion beam;
Ion current monitor;
Infrared sensor;
22.
Micromachined vibrating gyroscopes
机译:
微机械振动陀螺仪
作者:
Jan Soderkvist
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
23.
Micromachined vibrating gyroscopes
机译:
微机械振动陀螺仪
作者:
Jan Soderkvist
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Angular rate sensors;
Gyroscopes;
Micromachining;
Piezoelectricity;
Quartz;
Vibrations;
Resonators;
Applications;
Sensor principles;
Design aspects;
24.
Development and manufacturing of a two-dimensional microactuator for moving an optical fiber
机译:
用于移动光纤的二维微致动器的开发和制造
作者:
Thomas Frank
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
25.
Development and manufacturing of a two-dimensional microactuator for moving of an optical fibre
机译:
用于移动光纤的二维微致动器的开发和制造
作者:
Thomas Frank
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Linearmotor;
Electrodynamic;
Optical fibre;
Multiplexer;
Microcoil;
Permanent magnet;
Positioning;
Electroplating;
Two-dimensional;
26.
Optimization of CMOS infrared detector microsystems
机译:
CMOS红外探测器微系统的优化
作者:
Niklaus Schneeberger
;
Oliver Paul
;
Henry Baltes
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Infrared;
Thermoelectric sensors;
Micromachining;
Microsystem;
CMOS;
Finite element simulation;
27.
Performance tradeoffs for a surface micromachined microengine
机译:
表面微机械型微发炎的性能权衡
作者:
S. L. Miller
;
J. J. Sniegowski
;
G. LaVigne
;
P. J. McWhorter
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Microengine;
Actuator;
Modeling;
28.
Performance trade-offs for a surface micromachined microengine
机译:
表面微机械型微发炎的性能权衡
作者:
Samuel L. Miller
;
Jeffry J. Sniegowski
;
Glenn LaVigne
;
Paul J. McWhorter
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
29.
A novel MEMS simulation tool for thermal-based radiation sensors
机译:
用于热基辐射传感器的新型MEMS仿真工具
作者:
Nicholas R. Swart
;
Hubert Jerominek
;
Philippe Lambert
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Thermal detector;
Infrared;
Modelling;
Finite element;
Equivalent circuit;
30.
Application of micromachining technology to optical devices and systems
机译:
微机械加工技术在光学装置和系统中的应用
作者:
Hiroyuki Fujita
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
MEMS;
Micromachine;
Optics;
Microactuator;
LIGA process;
Silicon;
31.
Novel MEMS simulation tool for thermal-based radiation sensors
机译:
用于热基辐射传感器的新型MEMS仿真工具
作者:
Nicholas R. Swart
;
Hubert Jerominek
;
Philippe Lambert
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
32.
Technologies and microstructures for separation techniques in chemical analysis
机译:
化学分析中分离技术的技术和微观结构
作者:
Vincent L. Spiering
;
Theo S. J. Lammerink
;
Henri V. Jansen
;
Jan H. J. Fluitman
;
Albert van den Berg
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Microtechnology;
Chromatography channels;
Chemical analysis system;
Modular system;
33.
Force measurements of polysilicon thermal micro-actuators
机译:
Polysilicon热微型执行器的力测量
作者:
J. Robert Reid
;
Victor M. Bright
;
John H. Comtois
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Micro-electro-mechanical systems;
Actuators;
Micromachining;
34.
Force measurements of polysilicon thermal microactuators
机译:
Polysilicon热微致动器的力测量
作者:
P. Robert Reid
;
Victor M. Bright
;
John H. Comtois
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
35.
New developments in the integration of micromachined sensors
机译:
微机械传感器集成的新发展
作者:
P. M. Sarro
;
P. J. French
;
P. J. T. Gennissen
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Micromachining;
Integrated silicon sensors;
Process technology;
36.
Thermoelectric CMOS anemometers
机译:
热电CMOS气体计量仪
作者:
F. Mayer
;
M. Hintermann
;
H. Jacobs
;
O. Paul
;
H. Baltes
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Anemometer;
Wind;
Flow;
Thermal;
Thermoelectric;
Micromachining;
CMOS;
Microsensor;
37.
Analytical techniques for examining reliability and failure mechanisms of barrier coating encapsulated silicon pressure sensors exposed to harsh media
机译:
用于检查障碍涂层可靠性和故障机制的分析技术封装硅压传感器暴露于苛刻介质
作者:
Gordon Bitko
;
David J. Monk
;
Theresa Maudie
;
Dennis Stanerson
;
John Wertz
;
Jeanene Matkin
;
Slobodan Petrovic
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Media compatibility;
Pressure sensors;
Failure mechanisms;
Corrosion;
Barrier coatings;
38.
Thermoelectric CMOS anemometers
机译:
热电CMOS气体计量仪
作者:
Felix Mayer
;
Marcel Hintermann
;
Heiko Jacobs
;
Oliver Paul
;
Henry Baltes
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
39.
Analytical techniques for examining reliability and failure mechanisms of barrier-coated encapsulated silicon pressure sensors exposed to harsh media
机译:
用于检查障碍封装封装硅压力传感器暴露于苛刻介质的可靠性和故障机制的分析技术
作者:
Gordon Bitko
;
David J. Monk
;
Theresa Maudie
;
Dennis Stanerson
;
John Wertz
;
Jeanene Matkin
;
Slobodan Petrovic
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
40.
Micromachined VO2-based uncooled IR bolometric detector arrays with integrated CMOS readout electronics
机译:
基于微机械的VO2基础加工的UR电压探测器阵列,集成CMOS读数电子器件
作者:
Hubert Jerominek
;
Martin Renaud
;
Nicholas R. Swart
;
Francis Picard
;
Timothy D. Pope
;
Marc Levesque
;
Mario Lehoux
;
Ghislain Bilodeau
;
Martin Pelletier
;
Danick Audet
;
Philippe Lambert
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
41.
Micromachined VO{sub}2-based uncooled IR bolometric detector arrays with integrated CMOS readout electronics
机译:
基于MicroChined VO {Sub} 2的未冷却IR电压探测器阵列,具有集成的CMOS读数电子器件
作者:
Hubert Jerominek
;
Martin Renaud
;
Nicholas R. Swart
;
Francis Picard
;
Timothy D. Pope
;
Marc Levesque
;
Mario Lehoux
;
Ghislain Bilodeau
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Detector;
Infrared;
Uncooled;
Bolometer;
Focal plane array;
Micromachining;
Vanadium oxide;
42.
Silicon integrated microsensor incorporating a metal-doped phthalocyanine organic semiconductor used to selectively detect nitrogen dioxide and an organophosphorus compound
机译:
掺入金属掺杂的酞菁有机半导体的硅集成微传感器,用于选择性地检测二氧化氮和有机磷化合物
作者:
Edward S. Kolear
;
John M. Wiseman
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Gas sensor;
Gas detector;
Copper phthalocyanine;
Interdigitated-gate-electrode field-effect transistor;
Chemiresistor;
43.
Deflection behavior of Fabry-Perot pressure sensors having planar and corrugated membrane
机译:
具有平面和波纹膜的法布里 - 珀罗压力传感器的挠度行为
作者:
Jaeheon Han
;
Dean P. Neikirk
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Fabry-Perot microcavity;
Micromachined pressure sensor;
Corrugated diaphragm;
44.
Industrial microsystems on top of CMOS design and process
机译:
CMOS设计和过程顶部的工业微系统
作者:
Jordi Carrabina
;
Joaquin Saiz
;
David Marin
;
Xavier Marin
;
Angel Merlos
;
Juan Bausells
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
45.
Compatible CMOS microsystems for automotive and for medical applications
机译:
用于汽车和医疗应用的兼容CMOS微系统
作者:
Ralf Kersjes
;
Wilfried Mokwa
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Microsystem;
CMOS-technology;
Pressure sensors;
Flow sensor;
Heart catheter;
Blood flow;
Automotive application;
Medical application;
46.
Industrial microsystems on top of CMOS design and process
机译:
CMOS设计和过程顶部的工业微系统
作者:
Jordi Carrabina
;
Joaquim Saiz
;
David Marin
;
Xavier Marin
;
Angel Merlos
;
Joan Bausells
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
47.
Microsystem CAD
机译:
微系统CAD.
作者:
Jan G. Korvink
;
Henry Baltes
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
48.
Microsystem CAD
机译:
微系统CAD.
作者:
Jan G. Korvink
;
Henry Baltes
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Technology computer aided design (TCAD);
Microsystems;
Modelling;
Microelectromechanical systems (MEMS);
Process simulation;
Device simulation;
Finite element method;
Boundary element method;
Circuit simulation;
Compact models;
49.
Effect of particles on the electrical function and reliability of capacitive element microstructures
机译:
粒子对电容元件微结构电气功能和可靠性的影响
作者:
Tom Marcinko
;
Paul L. Carson
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
50.
Phase sensitive techniques applied to a micromachined vacuum sensor
机译:
应用于微机械真空传感器的相敏化技术
作者:
G. H. Chapman
;
N. Sawadsky
;
P. P. S. Juneja
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Micromachined;
Vacuum sensor;
Phase detection;
51.
Commercializing MEMS - too fast or too slow
机译:
商业化MEMS - 太快或太慢
作者:
Steven Walsh
;
Bill Carr
;
Hillary Mados
;
Divjot S. Narang
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Commercialization;
Competency;
Market;
Analysis;
Technology evaluations;
MEMS;
52.
Silicon accelerometers: generic design and operating principles and a case study
机译:
硅加速度计:通用设计和操作原理和案例研究
作者:
Eric Peeters
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
关键词:
Acceleration;
Accelerometer;
Silicon micromachining;
Mechanical sensor design;
MEMS;
53.
Innovative frequency measurement technique used in the design of a single channel frequency to digital converter ASIC
机译:
用于数字转换器ASIC的单通道频率设计的创新频率测量技术
作者:
Neranjen Ramalingam
;
Vijay K. Varadan
;
Vasundara V. Varadan
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
54.
Innovative frequency measurement technique used in the design of a single channel frequency to digital converter ASIC
机译:
用于数字转换器ASIC的单通道频率设计的创新频率测量技术
作者:
Neranjen Ramalingam
;
V. K. Varadan
;
V. V. Varadan
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1996年
55.
Pressure sensors based on the metal-semiconductor mesa-structures
机译:
基于金属半导体台面结构的压力传感器
作者:
Shamil D. Kurmashev
;
Andrey A. Gradoboev
;
Alexandr N. Sofronkov
;
Andjey Gavdzick
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Metal-semiconductor structures;
Pressure-sensitivity effect;
Sensors;
56.
Micromachining technology for thermal ink jet products
机译:
用于热喷墨产品的微机械线技术
作者:
Sophie Verdonckt-Vandebroek
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Thermal ink jet;
Micromachining;
Micro fluidics;
Printing;
Ink;
57.
Microfluidic plastic interconnects for multi-bioanalysis chip modules
机译:
用于多生物分析芯片模块的微流体塑料互连
作者:
P. F. Man
;
D. K. Jones
;
C. H. Mastrangelo
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Fluidic microcomponents;
Micromachining of plastics;
58.
Design of a ∑-△ converter based automotive sensor
机译:
基于Σ-△转换器的汽车传感器的设计
作者:
Barun K. Kar
;
Eric Joseph
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
59.
MEMS CAD and foundries: Where are we going?
机译:
MEMS CAD和RIPORIES:我们要去哪儿?
作者:
J. M. Karam
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Microsystems;
MEMS;
CAD tools;
Modeling;
Foundries;
Multi-project-wafer;
60.
Routes to failure in rotating MEMS devices experiencing sliding friction
机译:
在旋转MEMS器件中失效的路线,经历滑动摩擦
作者:
S. L. Miller
;
G. LaVigne
;
M. S. Rodgers
;
J. J. Sniegowski
;
J. P. Waters
;
P. J. McWhorter
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Microengine;
Friction;
Failure mechanisms;
Rotating devices;
MEMS failure modes;
61.
An excimer laser micromachining system for the production of bioparticle electromanipulation devices
机译:
用于生产生物粒子电气化装置的准分子激光微机械系统
作者:
Nadeem H. Rizvi
;
Erol C. Harvey
;
Phil T. Rumsby
;
Julian P. H. Burt
;
Mark S. Talary
;
Jon A. Tame
;
Ron Pethig
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Excimer lasers;
Biosensors;
Micromachining;
62.
An improved meshing technique and its application in the analysis of large and complex MEMS systems
机译:
改进的啮合技术及其在大型复合MEMS系统分析中的应用
作者:
Yie He
;
James Marchetti
;
Fariborz Maseeh
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Exposed face mesh;
Efficient simulation;
Coupled analysis refinement;
CAD;
63.
Integrated thermal sensor using optical channel waveguide
机译:
使用光通道波导的集成热传感器
作者:
Amar K. Ganguly
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Photonic component;
Optoelectronic devices;
Optical coupler;
Channel waveguide;
Polymer thin film;
Fiber optic sensor;
64.
Compensating methods of corner undercutting in silicon micromachining
机译:
硅微机械中的拐角削减方法
作者:
Ganrun Mao
;
Suying Yao
;
Hongwei Qu
;
Baiying Yu
;
Weixin Zhang
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Silicon micromachining;
Corner undercutting;
Polysilicon pressure sensor;
Compensating method;
65.
Laser micromachined and laminated microchannel components for chemical sensors and heat transfer applications
机译:
用于化学传感器和传热应用的激光微机械和层压微通道组分
作者:
P. M. Martin
;
W. D. Bennett
;
D. J. Hammerstrom
;
J. W. Johnston
;
D. W. Matson
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Micromachining;
Laser;
Sensor;
Stacked;
Chemical;
66.
Low-cost reliable transfer mold sensor packaging concept
机译:
低成本可靠的转移模具传感器包装概念
作者:
A. Bossche
;
C. V. B. Cotofana
;
P. Kaldenberg
;
I. Van Dommelen
;
Jeff Mollinger
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Plastic packaging;
Sensor packaging;
Open window package;
67.
Microfabrication of acoustic-wave devices
机译:
声波装置的微制造
作者:
Michael J. Vellekoop
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Acoustic wave technology;
Acoustic sensors;
Silicon acoustic wave devices;
68.
Bulk micromachined pressure sensor based on epi-poly techniques
机译:
基于EPI-Poly技术的批量微机械压力传感器
作者:
Paul T. J. Gennissen
;
Colin M. A. Ashruf
;
Martijn Kaak
;
Patrick J. French
;
Pasqualina M. Sarro
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Bulk micromachining;
Pressure sensors;
Etch stop techniques;
Epitaxy;
69.
Tensile testing of thin film microstructures
机译:
薄膜微结构的拉伸试验
作者:
Staffan Greek
;
Stefan Johansson
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Tensile test;
Polysilicon;
Young's modulus;
Tensile strength;
Weibull statistics;
Micromanipulator;
Micromechanical test structure;
70.
Friction and wear in surface micromachined tribological test devices
机译:
摩擦和磨损在表面微机械摩擦摩擦试验装置中
作者:
Donna Cowell Senft
;
Michael T. Dugger
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
MEMS;
Surface micromachined;
Tribology;
Friction;
Wear;
71.
Thermally excited inchworm actuators and stepwise micromotors: analysis and fabrication
机译:
热兴奋的九虫执行器和逐步微量运动器:分析和制造
作者:
Murat Okyar
;
Xi-Qing Sun
;
William N. Carr
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Thermal actuation;
Micromotor;
Inchworm;
Internal stress;
72.
A micro-binary element for optical wavelet transform
机译:
用于光学小波变换的微二叉元件
作者:
Huang Gaogui
;
Feng Wenyi
;
Yan Yingbai
;
Jin Guofan
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Binary optics;
Multi-channel filter;
Wedge filter;
Wavelet transform;
73.
3D packaging of a microfluidic system with sensory applications
机译:
3D包装微流体系统与感官应用
作者:
A. Morrissey
;
G. Kelly
;
J. Alderman
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Microsystem packaging;
Micropump;
Sensor;
Stress;
3D;
Multichip module;
ISFET;
74.
Three-dimensional silicon microcomponents manufactured by micro-electro discharge machining
机译:
通过微电路放电加工制造的三维硅片微型组件
作者:
Dominiek Reynaerts
;
Hendrik Van Brussel
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Microsystems;
Three-dimensional;
Electro-discharge machining;
Microspring;
Micromirror;
Microgears;
Manufacturing;
Electrode;
75.
Airbag accelerometer with a simple switched-capacitor readout ASIC
机译:
带简单的开关电容读出ASIC的安全气囊加速度计
作者:
Masahiro Tsugai
;
Yoshiaki Hirata
;
Koji Tanimoto
;
Teruo Usami
;
Toru Araki
;
Hiroshi Otani
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Accelerometer;
Airbag system;
(110) silicon;
KOH etching;
Switched-capacitor;
Interface circuit;
76.
Extension of high density interconnect multichip module technology for MEMS packaging
机译:
用于MEMS包装的高密度互连多芯片模块技术的推广
作者:
Jeffrey T. Butler
;
Victor M. Bright
;
Richard J. Saia
;
John H. Comtois
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Micro-electro-mechanical systems;
Packaging;
Chip-on-flex;
High density interconnect;
Multichip modules;
77.
MEMS applications in space exploration
机译:
空间探索中的MEMS应用
作者:
William C. Tang
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
MEMS;
Micro;
Electro;
Mechanical;
Systems;
Space applications;
Technology;
Reliability;
Overview;
78.
Optical measurement of micromachine engine performance
机译:
微机器发动机性能的光学测量
作者:
Scott C. Holswade
;
Fred M. Dickey
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Micromachines;
Optical probe;
Performance analysis;
79.
Stabilization of activity and repeated usage of biomaterial during integration with transducers and analysis of irreversible inhibitors
机译:
与传感器集成过程中的活性稳定和重复使用生物材料及不可逆转抑制剂分析
作者:
Nickolaj F. Starodub
;
Wladislaw Torbicz
;
Valentyna M. Starodub
;
Mykola I. Kanjuk
;
Konstantin S. Ternovoj
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Biosensors;
Biomaterial;
Immobilization;
Reactivation;
Repeated usage;
Irreversible inhibitors;
Analysis;
80.
First reliability test of a surface micromachined microengine using SHiMMeR
机译:
使用闪光的表面微机械微脑的首先可靠性测试
作者:
Danelle M. Tanner
;
Norman F. Smith
;
Duane J. Bowman
;
William P. Eaton
;
Ken A. Peterson
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Micro-mechanical component reliability;
Micromachine reliability;
Failure in micromachines;
MEMS reliability;
81.
SPICE modeling of polysilicon thermal actuators
机译:
多晶硅热执行器的香料造型
作者:
Jeffrey T. Butler
;
Victor M. Bright
;
William D. Cowan
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Micro-electro-mechanical systems;
Modeling;
Actuators;
82.
Microsystem packaging in 3D
机译:
微系统包装3D
作者:
G. Kelly
;
J. Alderman
;
C. Lyden
;
J. Barrett
;
A. Morrissey
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
3D MCM-V;
Micromachining;
Membrane micropump;
Packaging;
Residual stress;
Finite element method;
83.
Electrostatic comb drive for vertical actuation
机译:
用于垂直致动的静电梳状驱动
作者:
Abraham P. Lee
;
Chuck F. McConaghy
;
Peter A. Krulevitch
;
Eugene W. Campbell
;
Gary E. Sommargren
;
Jimmy C. Trevino
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Electrostatic comb drive;
Vertical actuation;
Vertical position control Interferometry;
84.
Design and performance of a double hot arm polysilicon thermal actuator
机译:
双热臂多晶硅热执行器的设计和性能
作者:
David M. Burns
;
Victor M. Bright
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
MEMS;
Polysilicon;
Actuator;
Motor;
Mirror;
85.
Vibration signature analysis sensor for predictive diagnostics
机译:
用于预测诊断的振动特征分析传感器
作者:
Eric Peeters
;
Jingkuang Chen
;
Joel Kubby
;
Olivera Vitomirov
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Vibration;
Acceleration;
Micromachining;
Piezoresistive;
Resonator;
Silicon;
Diagnostics;
86.
Contactless actuation of giant magnetostriction thin film alloy bimorphs for two-dimensional scanning application
机译:
无接触式磁致伸缩薄膜合金双芯片二维扫描应用的致动
作者:
E. Orsier
;
A. Garnier
;
T. Hiramoto
;
H. Fujita
;
J. Betz
;
K. Mackay
;
J. C. Peuzin
;
D. Givord
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Scanning;
Magnetic actuation;
Giant magnetostriction;
Torsion;
Linear response;
87.
Computer modeling techniques applied to pneumatically driven micropumps
机译:
计算机建模技术应用于气动驱动的微泵
作者:
In-Byeong Kang
;
Noel D. Samaan
;
Malcolm R. Haskard
;
Namsoo Kim
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Modeling;
Simulation;
Spice;
Diaphragm;
Micropump;
88.
Advanced micromechanisms in a multi-level polysilicon technology
机译:
多级多晶硅技术中的先进微机制
作者:
M. S. Rodgers
;
J. J. Sniegowski
;
S. L. Miller
;
C. C. Barron
;
P. J. McWhorter
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Microengine;
Mirror;
Gear train;
Transmission;
Microactuator;
Polysilicon;
89.
Microfluidic flow control using selective hydrophobic patterning
机译:
使用选择性疏水图案的微流体流量控制
作者:
K. Handique
;
B. P. Gogoi
;
D. T. Burke
;
C. H. Mastrangelo
;
M. A. Burns
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Hydrophobic patterning;
Self assembled monolayers;
Drop injection;
Discrete drop motion;
Drop control;
90.
Micromachined accelerometer with a movable gate transistor sensing element
机译:
带有可动栅极晶体管传感元件的微机械加速度计
作者:
Daniel M. Edmans
;
Adolfo Gutierrez
;
Christophe Cormeau
;
Edward Maby
;
Howard Kaufman
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Accelerometer;
Micromachining;
Movable gate transistor;
MEMS;
Microelectromechanical systems;
91.
IC microtransducers -- new components with old materials?
机译:
IC Microtransders - 旧材料的新组件?
作者:
Henry Baltes
;
Dirk Lange
;
Andreas Koll
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
CMOS;
MEMS;
Microtransducers;
Micromirror;
Infrared sensor;
Piezoresistive beam;
Chemical sensor;
92.
Electro-thermal modeling of a microbridge gas sensor
机译:
微细钻气体传感器的电热模型
作者:
Ronald P. Manginell
;
James H. Smith
;
Antonio J. Ricco
;
Robert C. Hughes
;
Daniel J. Moreno
;
Robert J. Huber
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Catalytic gas sensor;
Modeling;
SPICE;
μ-CVD;
In situ monitoring;
CMOS;
IR microscope;
93.
Characteristic analysis of basic mechanisms with large deflective elastic hinges for three-dimensional micromechanisms
机译:
三维微机械大型偏转弹性铰链基本机制的特征分析
作者:
Mikio Horie
;
Daiki Kamiya
;
Kozo Ikegami
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Micromechanism;
Robot;
Positioning;
3D micromachine;
Large deflective elastic hinge;
Displacement analysis;
Force analysis;
94.
Fabrication process for 256×256 bolometer-type uncooled infrared detector
机译:
256×256钻头型未冷却红外探测器的制造工艺
作者:
Hideo Wada
;
Mitsuhiro Nagashima
;
Masayuki Kanzaki
;
Tokuhito Sasaki
;
Akihiro Kawahara
;
Yoshio Tsuruta
;
Naoki Oda
;
Shouhei Matsumoto
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Uncooled;
Infrared;
Bolometer;
Micromachining;
Microbridge;
Spectral response;
95.
Silicon micromachined vibrating gyroscopes
机译:
硅微机械振动陀螺仪
作者:
Ralf Voss
会议名称:
《Symposium on Micromachining and Microfabrication》
|
1997年
关键词:
Vibrating gyroscopes;
Silicon micromachining;
Angular rate sensor;
Gyroscopes;
Inertial sensors;
Automotive applications;
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