机译:TMAH + Triton对硅进行各向异性刻蚀的刻蚀轮廓控制
机译:开发与方向相关的各向异性蚀刻模拟系统MICROCAD
机译:硅各向异性湿法刻蚀过程中轮廓演变的3D模拟
机译:取向依赖性各向异性刻蚀过程中硅的二维刻蚀轮廓的仿真
机译:用蚀刻和沉积法对二氧化硅接触孔的等离子体蚀刻轮廓进行建模。
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:黑硅方法:通过轮廓控制确定深硅沟槽蚀刻中氟基反应离子蚀刻机参数设定的通用方法
机译:用二维数值模拟比较蚀刻几何和过度生长的硅透过性基极晶体管