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Conference on Micro Electro Mechanical Systems
Conference on Micro Electro Mechanical Systems
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Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems. An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots (Cat. No.91CH2957-9)
机译:
诉讼程序。 IEEE微电机械系统。对微结构,传感器,执行器,机器人和机器人的调查(猫。No.91Ch2957-9)
作者:
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
2.
Microtribology related to MEMS-Concept, measurements, applications
机译:
与MEMS概念,测量,应用相关的显微纤维学
作者:
Kaneko R.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
3.
Characteristics of an ultra-small biomotor
机译:
超小生物接受的特点
作者:
Kami-Ike N.
;
Kudo S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
4.
Laser-chemical three-dimensonal writing of multimaterial structures for microelectromechanics
机译:
微机电大型结构的激光化学三维写入
作者:
Bloomstein T.M.
;
Ehrlich D.J.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
5.
In situ observation and analysis of wet etching process for micro electro-mechanical systems
机译:
本地检测及分析微机电系统湿法蚀刻工艺
作者:
Tabata O.
;
Shimaoka K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
6.
Band model for explaining new effects observed in electromechanical micromachining of Si
机译:
用于解释SI机电微机电观察到的新效果的频带模型
作者:
Ozdemir H.C.
;
Smith J.C.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
7.
Simulation of two-dimensional etch profile of silicon during orientation-dependent anisotropic etching
机译:
依赖于依赖性各向异性蚀刻期间硅二维蚀刻轮廓的仿真
作者:
Koide A.
;
Sato K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
8.
Friction and wear studies on lubricants and materials applicable to MEMS
机译:
适用于MEMS的润滑剂和材料的摩擦和磨损研究
作者:
Suzuki S.
;
Matsuura T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
9.
The LIGA technique-A novel concept for microstructures and the combination with Si-technologies by injection molding
机译:
LIGA技术 - 通过注射成型的微观结构和与SI-Technologies的组合的新颖概念
作者:
Menz W.
;
Bacher W.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
10.
Fast reversible NiTi fibers for use in microrobotics
机译:
用于微藻体的快速可逆NITI纤维
作者:
Hunter I.W.
;
Lafontaine S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
11.
Polysilicon microstructures
机译:
多晶硅微观结构
作者:
Farooqui M.M.
;
Evans A.G.R.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
12.
Magnetic micro-actuator
机译:
磁性微型执行器
作者:
Yanagisawa K.
;
Tago A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
13.
Surface-machined micromechanical membrane pump
机译:
表面加工的微机械膜泵
作者:
Judy J.W.
;
Tamagawa T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
14.
Ferroelectric thin film ultrasonic micromotors
机译:
铁电薄膜超声波微电机
作者:
Udayakumar K.R.
;
Bart S.F.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
15.
A miniature device for medical intracavitary intervention
机译:
医疗内部干预的微型设备
作者:
Dario P.
;
Valleggi R.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
16.
Noninvasive and precise motion detection for micromachines using high-speed digital subtraction echography (high-speed DSE)
机译:
使用高速数字减法回析(高速DSE)微磁素的非侵入性和精确运动检测
作者:
Ishihara K.
;
Tanouchi J.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
17.
Dopant selective HF anodic etching of silicon-for the realization of low-doped monocrystalline silicon microstructures
机译:
掺杂剂选择性HF阳极蚀刻硅 - 用于实现低掺杂的单晶硅微结构
作者:
Branebjerg J.
;
Eijkel C.J.M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
18.
Normal and tangential impact in micro electromechanical structures
机译:
微机电结构对正常和切向影响
作者:
Lee A.P.
;
Pisano A.P.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
19.
Integrated microelectromechanical systems: A perspective on MEMS in the 90s
机译:
集成微机电系统:90年代MEMS的透视图
作者:
Wise K.D.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
20.
Non-contact magnetic gear for micro transmission mechanism
机译:
用于微传输机构的非接触磁齿轮
作者:
Ikuta K.
;
Makita S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
21.
Ultrasonically induced microtransport
机译:
超声诱导的Microtransport.
作者:
Moroney R.M.
;
White R.M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
22.
A miniature opto-electric transformer
机译:
微型光电变压器
作者:
Kimura M.
;
Miyakoshi N.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
23.
Micromachined, silicon based electrode arrays for electrical stimulation of or recording from cerebral cortex
机译:
用于电气刺激或从脑皮层记录的微机械的基于硅基电极阵列
作者:
Normann R.A.
;
Campbell P.K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
24.
Micro-step XY-stage using piezoelectric tube actuator
机译:
使用压电管执行器的微步XY级
作者:
Matsuda R.
;
Kaneko R.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
25.
A development of micro sheath flow chamber
机译:
微鞘流量室的开发
作者:
Miyake R.
;
Ohki H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
26.
Mating and piercing micromechanical structures for surface bonding applications
机译:
用于表面粘合应用的配合和刺穿微机械结构
作者:
Han H.
;
Weiss L.E.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
27.
Fabrication of assembled micromechanical components via deep X-ray lithography
机译:
通过深X射线光刻制造组装的微机械部件
作者:
Guckel K.
;
Skrobis K.J.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
28.
Giant magnetostrictive alloy (GMA) applications to micro mobile robot as a micro actuator without power supply cables
机译:
巨型磁致伸缩合金(GMA)应用于微移动机器人作为没有电源电缆的微型执行器
作者:
Fukuda T.
;
Hosokai H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
29.
Optical exposure systems for three-dimensional fabrication of microprobe
机译:
微探针三维制造的光学曝光系统
作者:
Esashi M.
;
Minami K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
30.
Electrohydrodynamic pumping and flow measurement
机译:
电流动动力学泵送和流量测量
作者:
Richter A.
;
Plettner A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
31.
Film actuators: Planar, electrostatic surface-drive actuators
机译:
薄膜执行器:平面,静电表面驱动致动器
作者:
Egawa S.
;
Niino T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
32.
Sub-micron gaps without sub-micron etching
机译:
没有亚微米蚀刻的子微米间隙
作者:
Furuhata T.
;
Hirano T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
33.
A micropipe fabrication process
机译:
微皮制品工艺
作者:
Kuo C.-L.
;
Masuzawa T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
34.
Fast and extremely selective polyimide etching with a magnetically controlled reactive ion etching system
机译:
具有磁控式反应离子蚀刻系统的快速和极其选择性的聚酰亚胺蚀刻
作者:
Shimokawa F.
;
Furuya A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
35.
Fabrication of active integrated optical micro-encoder
机译:
有源集成光学微编码器的制造
作者:
Sawada R.
;
Tanaka H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
36.
Thermal assembly of polysilicon microstructures
机译:
多晶硅微观结构的热组装
作者:
Fedder G.K.
;
Howe R.T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
37.
A piezo-electric pump driven by a flexural progressive wave
机译:
由弯曲渐进波驱动的压电泵
作者:
Miyazaki S.
;
Kawai T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
38.
Fabrication of micro-structures using non-planar lithography (NPL)
机译:
使用非平面光刻(NPL)的微结构制造
作者:
Jacobsen S.C.
;
Wells D.L.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
39.
Flexible microactuator for miniature robots
机译:
用于微型机器人的柔性微致动器
作者:
Suzumori K.
;
Iikura S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
40.
Microfabricated actuator with moving permanent magnet
机译:
带移动永磁磁铁的微制造致动器
作者:
Wagner B.
;
Benecke W.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
41.
Self-adjusting microstructures (SAMS)
机译:
自调节微观结构(SAMS)
作者:
Judy M.W.
;
Cho Y.-H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
42.
Linear motion of dielectric particles and living cells in microfabricated structures induced by traveling electric fields
机译:
介电粒子和活细胞在行驶电场引起的微制造结构中的线性运动
作者:
Fuhr G.
;
Hagedorn R.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
43.
Properties of piezoelectric thin films for micromechanical devices and systems
机译:
微机械设备和系统压电薄膜的性能
作者:
Tjhen W.
;
Tamagawa T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
44.
Crystalline lattice for metrology and positioning control
机译:
用于计量和定位控制的结晶格子
作者:
Kawakatsu H.
;
Hoshi Y.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
45.
Miniature cybernetic actuators using piezoelectric device
机译:
采用压电装置的微型网络病毒执行器
作者:
Ikuta K.
;
Kawahara A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
46.
Micro-magnetic alloy tubes for switching and splicing single-mode fibers
机译:
用于切换和拼接单模纤维的微磁性合金管
作者:
Nagaoka S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
47.
The measurements of friction on micromechatronics elements
机译:
微型学习元素摩擦测量
作者:
Noguchi K.
;
Fujita H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
48.
Optical excitation of micro-mechanical resonators
机译:
微机械谐振器的光学激发
作者:
Lammerink T.S.J.
;
Elwenspoek M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
49.
Theoretical modeling of boundary conditions in microfabricated beams
机译:
微制梁边界条件的理论建模
作者:
Mullen R.L.
;
Mehregany M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
50.
Mathematical model and experimental verification of shape memory alloy for designing micro actuator
机译:
微型执行器设计形状记忆合金的数学模型及实验验证
作者:
Ikuta K.
;
Tsukamoto M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
51.
Single crystal silicon rotational micromotors
机译:
单晶硅旋转微电子
作者:
Suzuki K.
;
Tanigawa H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
52.
Silicon wafer bonding techniques for assembly of micromechanical elements
机译:
用于组装微机械元件的硅晶片键合技术
作者:
Hanneborg A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1991年
53.
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems. An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots(Cat. No.92CH3093-2)
机译:
诉讼程序。 IEEE微电机械系统。微结构,传感器,执行器,机器人和机器人的调查(猫。No.92CH3093-2)
作者:
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
54.
Theoretical and experimental results of an electrostatic micro motor with large gear ratio fabricated by the LIGA process
机译:
用LIGA工艺制造大型齿轮比的静电微电机的理论和实验结果
作者:
Wallrabe U.
;
Bley P.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
55.
Novel polysilicon comb actuators for xy-stages
机译:
新型多晶硅梳致动器,用于XY级
作者:
Jaecklin V.P.
;
Linder C.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
56.
E-beam induced fabrication of microstructures
机译:
E-梁诱导微结构的制备
作者:
Brunger W.H.
;
Kohlmann H.T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
57.
Epitaxial regrowth in surface micromachining of GaAs
机译:
在GaAs的表面微机械线上的外延再生
作者:
Hjort K.
;
Schweitz J.-A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
58.
Micro-gravity research and application of micromechanical devices
机译:
微重力研究与微机械装置的应用
作者:
Dopkens J.
;
Walther S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
59.
Microelectromechanical tuning of electrooptic devices
机译:
电光器件的微机电调谐
作者:
Hung C.-Y.
;
Burton R.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
60.
Microfabrication of submicron nozzles in silicon nitride
机译:
氮化硅中亚微米喷嘴的微制造
作者:
Farooqui M.M.
;
Evans A.G.R.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
61.
Surface-normal electrostatic/pneumatic actuator
机译:
表面正常的静电/气动执行器
作者:
Gabriel K.J.
;
Tabata O.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
62.
Bias dependent etching of polysilicon mixed monocrystalline-polycrystalline silicon structures
机译:
多晶硅混合单晶 - 多晶硅结构的偏置依赖性蚀刻
作者:
Riou J.C.
;
Spirkovitch S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
63.
Temporal evolution of silicon surface roughness during anisotropic etching processes
机译:
各向异性蚀刻过程中硅表面粗糙度的时间演变
作者:
Findler G.
;
Muchow J.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
64.
Lithography with high depth of focus by an ion projection system
机译:
离子投影系统具有高深度焦深的光刻
作者:
Buchmann L.-M.
;
Schnakenberg U.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
65.
Current induced light emission from nanocrystalline silicon structures
机译:
纳米晶体结构的电流诱导光发射
作者:
Lang W.
;
Richter A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
66.
Electrostatic film actuator with a large vertical displacement
机译:
具有大垂直位移的静电薄膜执行器
作者:
Sato K.
;
Shikida M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
67.
High aspect ratio electroplated microstructures using a photosensitive polyimide process
机译:
使用光敏聚酰亚胺过程的高纵横比电镀微结构
作者:
Frazier A.B.
;
Allen M.G.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
68.
High-precision micronozzle fabrication
机译:
高精度微型喷嘴制造
作者:
Kuo C.-L.
;
Masuzawa T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
69.
A micro membrane pump with electrostatic actuation
机译:
具有静电驱动的微膜泵
作者:
Zengerle R.
;
Richter A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
70.
Polymer bonding of micro-machined silicon structures
机译:
微加工硅结构的聚合物键合
作者:
den Besten C.
;
van Hal R.E.G.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
71.
Structure and mechanism of two types of micro-pump using polymer gel
机译:
两种微型泵使用聚合物凝胶的结构和机理
作者:
Hattori S.
;
Fukuda T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
72.
Micron-sized, high aspect ratio bulk silicon micromechanical devices
机译:
微米尺寸,高纵横比散装硅微机械装置
作者:
Gianchandani Y.
;
Najafi K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
73.
Development of an electrostatic actuator exceeding 10 N propulsive force
机译:
静电致动器的研制超过10N推进力
作者:
Niino T.
;
Egawa S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
74.
Batch fabrication and assembly of micromotor-driven mechanisms with multi-level linkages
机译:
批量制造和微电机驱动机构的组装,具有多级联键
作者:
Gianchandani Y.
;
Najafi K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
75.
Tiny silent linear cybernetic actuator driven by piezoelectric device with electromagnetic clamp
机译:
用电磁夹具的压电装置驱动的微小无声线性控制器驱动器
作者:
Ikuta K.
;
Aritomi S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
76.
A comparative study of bearing designs and operational environments for harmonic side-drive micromotors
机译:
谐波侧驱动微电路轴承设计和运营环境的比较研究
作者:
Dhuler V.R.
;
Mehregany M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
77.
A new electrostatic actuator providing improved stroke length and force
机译:
一种新的静电执行器,提供改善的行程长度和力
作者:
Branebjerg J.
;
Gravesen P.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
78.
Fabrication of high depth-to-width aspect ratio microstructures
机译:
高深度宽度纵横比微结构的制造
作者:
Engelmann G.
;
Ehrmann O.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
79.
Submicron, movable gallium arsenide mechanical structures and actuators
机译:
亚微米,可动镓砷化物机械结构和致动器
作者:
Zhang Z.L.
;
Porkolab G.A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
80.
Photo-induced preferential anodization for fabrication of monocrystalline micromechanical structures
机译:
用于制备单晶微机械结构的光诱导的优先阳极氧化
作者:
Yoshida T.
;
Kudo T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
81.
Pumping of water solutions in microfabricated electrohydrodynamic systems
机译:
泵送微锻造电液动力学系统中的水溶液
作者:
Fuhr G.
;
Hagedorn R.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
82.
Selective mode excitation and detection of micromachined resonators
机译:
选择模式激励和微机械谐振器的检测
作者:
Prak A.
;
Elwenspoek M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
83.
Anodic bonding for integrated capacitive sensors
机译:
用于集成电容传感器的阳极键合
作者:
Esashi M.
;
Ura N.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
84.
Helical microstructures grown by laser assisted chemical vapor deposition
机译:
激光辅助化学气相沉积种植的螺旋微观结构
作者:
Boman M.
;
Westberg H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
85.
An integrated lateral tunneling unit
机译:
集成的横向隧道单元
作者:
Kobayashi D.
;
Hirano T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
86.
Design and fabrication of light driven micropump
机译:
光驱动微泵的设计和制造
作者:
Mizoguchi H.
;
Ando M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
87.
Polysilicon micro vibromotors
机译:
多晶硅微弧运动器
作者:
Lee A.P.
;
Ljung P.B.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
88.
Molding of three dimensional microstructures by the LIGA process
机译:
LIGA工艺模制三维微结构
作者:
Harmening M.
;
Bacher W.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
89.
Creation of an insect-based microrobot with an external skeleton and elastic joints
机译:
用外部骨架和弹性接头创建基于昆虫的微管杆菌
作者:
Suzuki K.
;
Shimoyama I.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
90.
Microelectromechanical filters for signal processing
机译:
用于信号处理的微机电滤波器
作者:
Lin L.
;
Nguyen C.T.-C.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
91.
Manipulation of biological objects in micromachined structures
机译:
在微机械结构中操纵生物物体
作者:
Washizu M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1992年
92.
Precision machine design: macromachine design philosophy and its applicability to the design of micromachines
机译:
精密机器设计:Macromachine设计理念及其对微机芯设计的适用性
作者:
Slocum A.H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
93.
Micromachined thermoelectrically driven cantilever structures for fluid jet deflection
机译:
用于流体射流偏转的微机械的热电驱动悬臂结构
作者:
Doring C.
;
Grauer T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
94.
Integration of the anisotropic-silicon-etching program ASEP within the CAEMEMS CAD/CAE framework
机译:
在CaEmems CAD / CAE框架内的各向异性 - 硅蚀刻程序ASEP集成
作者:
Buser R.A.
;
Crary S.B.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
95.
Linear and rotational magnetic micromotors fabricated using silicon technology
机译:
使用硅技术制造的线性和旋转磁性微电阻
作者:
Wagner B.
;
Kreutzer M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
96.
Low temperature wafer bonding for micromechanical applications
机译:
用于微机械应用的低温晶片键合
作者:
Quenzer H.J.
;
Benecke W.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
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1992年
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