ダイヤモンドシートを用いたガラス基板の固定砥粒研磨の研究: 複数種のクーラントを用いた研磨特性に対する影響分析

摘要

現在，HDD (Hard Disk Drive)はコンピュータ等における電子情報の記録に広く使用されている．しかしながら，近年，フラッシュメモリーの大容量化，低価格化によるSSD(Solid State Drive)への置き換えが進hでいる．一方，HDDは高速性，信頼性の高さ，容量当たりの単価の安さなどから長期保存用記録媒体としての需要が高まっている．これらのことから，HDDに実装される薄型ガラス基板ディスクの生産性の向上，すなわち加工プロセスの高能率化が求められている．