double patterning; spacer; single damascene; LWR/LER; alignment;
机译:通过原子层沉积获得具有10 nm半间距的纳米压印模板光栅,可进行间隔物双重图案化
机译:间隔物定义的双图案中的晶圆级临界尺寸控制,用于低于72 nm的间距逻辑技术
机译:用于光掩模和纳米压印模具的电子束光刻中曝光图案宽度与16nm半间距线间距图形的化学梯度之间的关系的理论研究
机译:垫片定义了(亚)20nm半间距Singledamascene结构的双重图案化
机译:具有和不具有主动控制(包括实际场地的土壤数据)的分层半空间中嵌入式基础上地震结构的响应行为。
机译:p63 DNA结合域的结构具有半位点和含间隔子的完整应答元件
机译:使用溶剂退火的20nm间距嵌段共聚物组件进行比特图案化介质