ALD; DFT; Platinum; Titanium dioxide; Thermal stability; Reactivity;
机译:卤化钛前体的热稳定性和反应性,用于TiO的原子层沉积
机译:使用四(二甲基氨基)钛和H_2O前驱体通过原子层沉积来晶圆级制备共形原子层TiO_2
机译:金属门金属氧化物半导体场效应晶体管四(二甲基氨基)钛前体原子层沉积形成TiN膜的热稳定性研究
机译:卤化钛前体的热稳定性和反应性,用于PT(111)表面上TiO_2的原子层沉积
机译:铜前体在金属表面上用于原子层沉积(ALD)的表面反应性。
机译:通过等离子体增强的原子层沉积使用四甲基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl4)前体制备的锡薄膜的数据集
机译:原子层沉积过程中氮化物和氧化物表面的吸附:DFT研究
机译:电化学原子层外延法在au(100),(110)和(111)表面沉积Gaas的初步研究