エアロゾル化ガスデポジションー常温成膜において出現するジルコニア高温相の熱安定性

摘要

エアロゾル化ガスデポジション（AGD）法により常温成膜したジルコニア膜に、単斜晶と共に高温相の正方晶が形成されることは、前報で述べた。本報告では、このジルコニアAGD膜の熱安定性について調べた。