gas sensors; microsensors; silicon compounds; KOH; MEMS; Si/sub 3/N/sub 4/; SiO/sub 2/; SiO/sub 2/ membrane; electrical contact; etching; gas sensor; homogeneous temperature distribution; lift off process; micro-hot-plate; microheater; micropit; microstructure; microsyst;
机译:MEMS气体传感器可靠开发微型加热器的技术历程:回顾
机译:增强了共平面MEMS微热酯基甲烷气体传感器的响应
机译:基于MEMS的微热器集成气体传感器
机译:实施MEM气体传感器的微加热器和微热板的工艺流程
机译:超低功耗MEMS声传感器的决策树分类实现
机译:具有低成本MEMS惯性传感器的深耦合GNSS接收机在车辆城市导航中的实现和性能
机译:P1MM.5 - 优化硅和石英MEMS微热器,用于化学气体传感器
机译:开发无线mEms多功能传感器系统和用于监测混凝土路面的嵌入式传感器的现场演示:第二卷 - 用于混凝土路面健康监测的无线mEms多功能传感器(Wms)系统的开发。