AFM; metrology; CD; linewidth; reference measurement system; standards; calibration; traceability;
机译:横向尖端控制在CD-AFM宽度测量中的作用
机译:使用在线参考计量的验证计量系统
机译:基于衍射结构高谐波产生的计量装置和计量方法
机译:使用下一代CD-AFM的参考计量
机译:基于单模光纤的设备和系统,用于中红外光的产生,通信和计量
机译:CD-AFM量测中的横向笔尖控制效果:最大笔尖限制
机译:使用内联参考计量验证计量系统
机译:下一代北约参考移动模型(NRmm)开发(发展de la nouvella generation du modele de mobilite de reference de l'OTaN(NRmm))。