phase shift mask; PSM; defect repair; simulation; etch; AFM;
机译:各种原子力显微镜悬臂的3D刚度建模以及模型的有限元验证
机译:通过原子力显微镜朝向高级脱硫复合材料的复杂三维相互作用
机译:使用原子力显微镜对粘弹性生物颗粒的3D操作进行建模和仿真
机译:蚀刻光掩模特征中微沟的原子力计量和3D模型
机译:用于铬光掩模的非接触式临界尺寸计量传感器,采用低温共烧陶瓷技术实现。
机译:原位原子力显微镜成像的不饱和和1-羟基亚乙基-11-二膦酸中毒溶液中的方解石蚀刻坑形态变化
机译:MultiStep模型预测前肢3D等距力应用从前移动电压特征