去除光掩模中雾的装置及除去光掩模中雾的方法

摘要

一种去除光掩模中雾(haze)的装置，其包括：具有烘烤模块的密封的腔体，该烘烤模块安置在其中以支撑光掩模；反应气体供应管道，以供应反应气体到腔体中；和排放器件，以排放腔体中的杂质到外部。本发明还涉及一种去除光掩模中雾的方法，包括：加载光掩模到腔体中；提升加载的光掩模的温度高于预定温度；供应反应气体到腔体中，由此反应气体和出现在升温的光掩模上的杂质发应以形成反应产物；和排出反应气体和杂质的反应产物到腔体外部。