Phase-shifting mask; Grating; Phase retardation; Diffraction efficiency;
机译:交替相移掩模设计方法在制造2 GHz以上声表面波器件的近场光刻中的应用
机译:使用交替相移掩模设计方法制造的GHz表面声波滤波器
机译:抑制相移掩模中的相位误差的影响的处理方法
机译:制造交替相移掩模移相器的干扰法
机译:用于相移掩模设计的广义逆光刻方法。
机译:通过相干干涉图样的远程相干调谐进行定量反射相介观
机译:通过使用具有特定相位宽度的交替相移掩模标记进行彗星测量
机译:使用光学光刻和相移掩模制造的红外频率选择表面