OPC; PSM; phase shifting masks; lithography; test structures; reticle metrology;
机译:用于多晶硅栅极层的OPC / PSM设计
机译:具有生产信息时代的开放接口OPC(用于过程控制的OLE):用于现场网络和Internet的OPC-OPC新规范“ OPC-DX”和“ OPC-XML”
机译:开放接口OPC(OPC)OPC(OPC-OPC)用于生产信息化:OPC-OPC对Internet和Internet“OPC-DX”和“OPC-XML”的新规范
机译:OPC超过0.18μm:PSM门上的OPC
机译:改性Opaque-2(o2)爆米花的产生和评估表明,通往优质蛋白爆米花(QPP)的途径
机译:与白质OPC相比灰质OPC不那么成熟对IFNγ的敏感性更低:髓鞘再生的后果
机译:DSPC / DOPC / POPC / CHOL和DSPC / DOPC / SOPC / CHOL双层混合物的四组分相图