机译:使用金刚石膜制造用于第二代X射线光刻的高分辨率X射线掩模
机译:类金刚石碳膜掩模在电子投影光刻中的光刻性能
机译:使用蒙特卡洛方法可以实现快速,准确的X射线光刻仿真。 DoseSim的新版本:专门用于深X射线光刻(LIGA)的软件
机译:气体聚类离子束X射线光刻CVD-金刚石膜的表面平滑
机译:研究类金刚石碳作为纳米压印光刻的模板,并作为垂直排列的碳纳米管森林的填充材料。
机译:用光刻法对金属-氧化物外延隧道结进行X射线衍射成像:使用聚焦和未聚焦X射线束
机译:X射线光刻的验证和移动掩模深X射线光刻的开发仿真系统
机译:用于X射线光刻掩模的金刚石膜。阶段2。