EUV Lithography; Metal assignment PAG; Sn-PAG; Te-PAG; EUV metal resist; Synchrotron;
机译:化学增幅EUV抗蚀剂中的金属增敏剂:增敏和溶解度研究
机译:通过添加产酸促进剂来增强化学放大的EUV抗蚀剂的灵敏度
机译:改善EUV抵抗力的方法研究
机译:通过UV泛光曝光提高EUV抗蚀剂的化学梯度,以改善EUV抗蚀剂的分辨率,工艺控制,粗糙度,灵敏度和随机缺陷率
机译:第一部分:通过辐射诱导的改性增强PMMA抗蚀剂的敏感性。第二部分:聚(烯氨基腈)-高温聚合物的合成与表征。
机译:高敏感性抗蚀性对EUV光刻进行抗衡性:材料设计策略和绩效结果综述
机译:化学扩增的EUV抗蚀剂的金属敏化剂:敏感性增强和溶解研究