机译:通过添加产酸促进剂来增强化学放大的EUV抗蚀剂的灵敏度
Hokkaido Univ, Fac Grad Sch Engn, Inst Sci & Ind Res, Sapporo, Hokkaido 0608628, Japan;
Hokkaido Univ, Fac Grad Sch Engn, Inst Sci & Ind Res, Sapporo, Hokkaido 0608628, Japan|Osaka Univ, Inst Sci & Ind Res, Ibaraki, Osaka 5670047, Japan;
Osaka Univ, Inst Sci & Ind Res, Ibaraki, Osaka 5670047, Japan;
Osaka Univ, Inst Sci & Ind Res, Ibaraki, Osaka 5670047, Japan;
Inc EIDEC, Evolving Nanoproc Infrastruct Dev Ctr, Tsukuba, Ibaraki 3058569, Japan;
机译:化学增幅EUV抗蚀剂中的金属增敏剂:增敏和溶解度研究
机译:金属敏化剂对EUV化学放大抗蚀剂敏感性改进的作用
机译:金属增敏剂在EUV化学增强型抗蚀剂灵敏度提高中的作用
机译:通过添加二苯砜衍生物增强化学放大的EUV抗蚀剂的灵敏度
机译:砷化镓晶片的表面化学研究在化学放大的抗蚀剂构图过程中进行,并通过荧光进行抗蚀剂研究。
机译:高敏感性抗蚀性对EUV光刻进行抗衡性:材料设计策略和绩效结果综述
机译:Sematech Berkeley会议:在6.x-nm下,在化学扩增的EUV抗蚀剂和EUV抗蚀剂的敏感性中展示了15nm的半场