机译:化学增幅EUV抗蚀剂中的金属增敏剂:增敏和溶解度研究
机译:金属敏化剂对EUV化学放大抗蚀剂敏感性改进的作用
机译:金属增敏剂在EUV化学增强型抗蚀剂灵敏度提高中的作用
机译:EUV化学增强型抗蚀剂中的敏化剂:灵敏度提高的机理
机译:探索基于溶出抑制剂的非化学放大抗蚀剂,用于193 nm光刻。
机译:研究了对豚鼠的敏化剂全身给药对无机金属化合物的敏感性。三免疫抑制剂对已致敏动物无反应性的增强作用以及二十四小时内对表皮测试作用的调查
机译:Sematech Berkeley会议:在6.x-nm下,在化学扩增的EUV抗蚀剂和EUV抗蚀剂的敏感性中展示了15nm的半场