OCD; scatterometry; gate-all-around; GAA; XPS; XRF; strain; SiGe;
机译:Goatelength对高频应用的InGaAs / InAs / InGaAs复合通道双材料双栅极高电子移动性晶体管装置的影响
机译:用于光伏应用的变质GaAsP / Si材料和器件的表征
机译:集成多通道微流控技术的三维微电极阵列装置,实现酶固定化聚苯乙烯珠的操纵和表征
机译:用于多通道栅极全能(GAA)器件工艺集成的材料表征
机译:用于高级IC器件的片上铜/低k互连:材料集成和工艺优化研究。
机译:GaInAsSb材料在GaAs衬底上用于发光器件应用的变质集成
机译:基于二维电子气的肖特基平面门和绕栅控制的具有单点和多点GaAs单电子器件的制备与表征
机译:LsI / VLsI(大规模集成/超大规模集成)离子注入Gaas(砷化镓)IC处理。附录B.用于集成高速逻辑电路的Gaas mEsFET器件的二维建模