Arch Resonator; Electrothermal Actuation; Electrostatic Actuation; and Bandpass Filter;
机译:具有电热驱动和压电感应功能的可广泛调谐的MEMS环形谐振器,适用于滤波应用
机译:基于静电MEMS致动器和电偶极子谐振器阵列的动态可调太赫兹超材料吸收器
机译:基于静电驱动MEMS悬臂和裂环谐振器阵列的可调谐太赫兹窄带超材料吸收器的设计
机译:基于电热和静电驱动的MEMS拱谐振器的可调谐带通滤波器
机译:基于循环耦合架构的MEMS带通滤波器。
机译:带通滤波器的MEMS拱形谐振器的模式耦合和非线性谐振
机译:广泛调谐的MEMS环形谐振器,具有电热致动和压电传感,用于过滤应用
机译:电离辐射对微机电系统(mEms)执行器的影响:静电,电热和残余应力