应用于外腔可调谐半导体激光器的MEMS静电驱动设计与仿真

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摘要

第一章绪论

1．1可调谐半导体激光器技术与MEMS技术研究背景与意义

1．1．1可调谐半导体激光器研究背景与意义

1．1．2 MEMS研究背景与意义

1．2国内外研究现状

1．3本文主要研究内容与结构安排

第二章MEMS驱动器研究背景以及理论

2．1 MEMS驱动器介绍

2．2 MEMS驱动机制介绍与分析

2．3 MEMS静电驱动理论分析

2．4 MEMS悬臂梁理论分析

2．5适用于外腔可调谐激光器的MEMS静电驱动特点

2．6本章小结

第三章单梳旋转静电梳齿结构及其参数分析

3．1梳齿静电驱动器介绍

3．2单梳旋转静电梳齿结构

3．2．1单梳旋转静电梳齿结构原理

3．2．2单梳旋转静电梳齿结构建模

3．2．3单梳旋转静电梳齿结构仿真

3．3单梳旋转静电梳齿结构参数分析

3．4本章小结

第四章突出梳齿应用于绕虚轴旋转的MEMS静电驱动结构

4．1单梳旋转突出梳齿结构

4．1．1单梳旋转突出梳齿原理

4．1．2单梳旋转突出梳齿仿真

4．2单梳旋转突出梳齿参数分析

4．3 MEMS对称驱动结构原理

4．4 MEMS突出梳齿对称驱动结构

4．4．1 MEMS突出梳齿对称驱动结构仿真

4．4．2 MEMS突出梳齿对称驱动结构对比分析

4．5 MEMS扇环驱动结构原理

4．6 MEMS突出梳齿扇环驱动结构

4．6．1 MEMS突出梳齿扇环驱动结构仿真

4．6．2 MEMS突出梳齿扇环驱动结构对比分析

4．7本章小结

第五章拉链梳齿应用于绕虚轴旋转的MEMS静电驱动结构

5．1单梳旋转拉链梳齿结构

5．1．1单梳旋转拉链梳齿原理

5．1．2单梳旋转拉链梳齿仿真

5．2单梳旋转拉链梳齿参数分析

5．3 MEMS拉链梳齿对称驱动结构

5．3．1 MEMS拉链梳齿对称驱动结构仿真

5．3．2 MEMS拉链梳齿对称驱动结构对比分析

5．4 MEMS拉链梳齿扇环驱动结构

5．4．1 MEMS拉链梳齿扇环驱动结构仿真

5．4．2 MEMS拉链梳齿扇环驱动结构对比分析

5．5本章小结

第六章总结与展望

6．1本文工作总结与创新点

6．2本文不足之处与下一步工作展望

参考文献

致谢

攻渎学位期间的学术成果