シート状大気圧プラズマの生成と薄膜堆積·表面処理への応用

机译：片状大气压等离子体的产生及其在薄膜沉积和表面处理中的应用

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我々が提案した放電ガス·原料対向型のシートタイププラズマジェットにより，下大気圧下でパーティクルやダストの成膜への寄与を抑制したSiOC薄膜をPETフィルム上に堆積することができた.しかしCの含有量が多いためガスバリア膜に用いるだけの品質は無いと考えられる..ガスパリア性向上のためには，酸素ガスの添加によって炭素成分を除去する等の措置が必要であると考えられる.

机译：面对我们提出的放电气体和原料的片状等离子体射流能够在PET膜上沉积SiOC薄膜，从而抑制了大气压下颗粒和灰尘对成膜的贡献。由于高含量的铝，其质量不足以用于阻气膜。为了提高气体可比性，认为必须采取诸如通过添加氧气来除去碳成分的措施。

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来源
《プラズマ研究会》|2016年|15-17|共3页
会议地点
作者
中島　康太; 白藤　立;
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作者单位

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关键词
大気圧プラズマ; プラズマ化学気相堆積法;

机译：大气压等离子体;等离子体化学气相沉积法;

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