首页> 中国专利> 在大气压下产生的浓等离子体对处理气体排放物的应用

在大气压下产生的浓等离子体对处理气体排放物的应用

摘要

本发明涉及一种用等离子体处理PFC或HFC的系统,上述系统包括:泵送装置(6)和装置(8),所述泵送装置(6)的出口是在一个基本上等于大气压的压力下,而所述装置(8)是在泵送装置出口处,以便产生一个在大气压下的等离子体。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-09-22

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/44 授权公告日:20070221 申请日:20020521

    专利权的终止

  • 2007-02-21

    授权

    授权

  • 2005-01-05

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-11-03

    公开

    公开

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