CMUTs; capacitance variations; collapse voltage; fill factors;
机译:基于SU-8的机载应用电容式微加工超声换能器的制备与表征
机译:低温晶片直接键合的电容式微机械超声换能器的制备与表征
机译:电容式微加工超声换能器的表征
机译:用于二维和体积超声成像的一维和二维电容微机超声换能器(CMUT)阵列的制作和表征
机译:用于诊断超声的电容式微加工超声换能器的表征和建模。
机译:压印电容微机超声换能器细胞的实验表征
机译:压花电容式微机械超声换能器电池的实验表征
机译:DC-GHz微机械电容式空气传感器