capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT); embossed CMUT; collapse mode; output pressure;
机译:使用牺牲释放过程的压花电容微机械超声换能器的制造
机译:具有活塞形膜的电容式微加工超声换能器:制造和实验表征
机译:二维电容微加工超声换能器阵列元件的仿真和实验表征
机译:电容式微机械超声换能器的实验表征
机译:使用多用户MUMP进行血管流量测量的宽带电容微加工超声换能器的设计和实验表征
机译:双苯并环丁烯键合电容式微机械超声换能器的实验分析
机译:压花电容式微机械超声换能器电池的实验表征
机译:DC-GHz微机械电容式空气传感器