电容式微机械超声换能单元及其制作方法和电容式微机械超声换能器

摘要

本发明提供了电容式微机械超声换能单元及其制作方法和电容式微机械超声换能器，该电容式微机械超声换能单元包括：衬底，设置在所述衬底上的底电极，设置在所述底电极远离所述衬底一侧的顶电极，所述顶电极与所述底电极之间设置有空腔，所述顶电极中设置有释放孔，所述释放孔中设置有有机填充部。该电容式微机械超声换能单元中，通过以顶电极作为振膜支撑层，并通过设置有机填充部进行空腔密封和振膜形成，可通过低温工艺实现，不需要在振膜外围设置释放孔，进而含有该电容式微机械超声换能单元的电容式微机械超声换能器(CMUT)的占空比较高，发射强度和接收灵敏度更好。