Immersion; Birefringent Transducer; Displacement;
机译:基于外差干涉法的角位移双折射传感器
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机译:外差式干涉仪与全息位移传感器的亚纳米分辨率位移测量
机译:外差干涉仪角度位移测量的浸没双折射换能器
机译:紧凑型外差干涉仪,用于高精度位移测量
机译:基于FPGA的智能传感器可使用外差式干涉仪进行在线位移测量
机译:基于外差干涉法测量角位移的双折射折射传感器
机译:具有亚埃精度的位移测量激光外差干涉仪