基于双声光调制器的迈克尔逊外差干涉仪的位移测量方法

摘要

本发明公开了一种基于双声光调制器的迈克尔逊外差干涉纳米位移测量方法，采用迈克尔逊干涉结构，两臂分别加入声光调制器件产生移频；将一级干涉光斑通过一维探测器转变为电信号，将其与信号发生器产生的基准信号用锁相器比较获得两者的相位差，当物体产生纳米位移，信号光一级衍射光斑携带其变化量，含有变化量的一级干涉信号与基准信号的相位差发生变化，通过计算相位差的变化量，可以得到纳米位移引起的相位变化量，根据相位差与位移公式可得到位移量；本发明系统光路简单，易于调节，可有效解决现有技术方案中外差干涉存在光路复杂、调整困难等问题，在超精密位移、振动测量领域具有显著的技术优势。