基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统

何京徽; 许素安; 谢敏; 袁铭权; 钱飞; 陈乐; 孙坚

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基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统

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工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求.测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在纳米测量领域中得到广泛的应用.提出了一种基于LabVIEW的外差干涉纳米位移测量系统,该系统采用外差干涉仪作为位置检测单元,利用LabVIEW图形化编程语言开发了纳米精度位移测量系统.该系统可广泛应用于纳米计量和超精密测量领域.

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来源
《测控技术》 |2014年第5期|31-34|共4页
作者
何京徽; 许素安; 谢敏; 袁铭权; 钱飞; 陈乐; 孙坚;
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作者单位

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

福陆(中国)工程建设有限公司,上海200336;

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学计量仪器;
关键词
激光外差干涉仪; 纳米位移测量; LabVIEW;

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