基于激光双外差干涉的位移精密测量系统

摘要

本实用新型公开的基于激光双外差干涉的位移精密测量系统，包括激光器，激光器发射的激光分光后分别送入参考干涉仪和测量干涉仪，参考干涉仪和测量干涉仪分别对应连接有第二测频系统和第一测频系统，第一测频系统和第二测频系统并联后依次连接有混频器、控制器。本实用新型的基于激光双外差干涉的位移精密测量系统利用两组激光外差信号来构成两组干涉仪，对两组干涉光路的激光分别进行了声光移频，使每一个干涉组内的光束进行外差干涉，探测器接收到回波拍频信号后进行时间域的平均与频域解调，这样将传统的空间域信号处理变成由空间域转换为时间域处理，提高了测量系统的鲁棒性，使得测量系统的精度大大提高。