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AN ANALYSIS OF THE POLARIZATION COMPONENT OF THE MEASUREMENT ERROR IN HETERODYNE LASER INTERFEROMETER MEASUREMENT SYSTEMS

机译:外差激光干涉仪测量系统测量误差的极化分量分析

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摘要

The reasons for the occurrence of the polarization component of the measurement error in heterodyne laser interferometer measuring systems are considered. An analysis of this component is given.
机译:考虑了在外差激光干涉仪测量系统中出现测量误差的偏振分量的原因。对此组件进行了分析。

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