机译:基于外差干涉法的角位移双折射传感器
heterodyne interferometrysensorsbirefringenceangular displacement;
机译:基于外差干涉法的角位移双折射传感器
机译:用于小位移测量的高角度敏感性全内反射外差干涉测量
机译:用双棱镜和外差式干涉仪的差分相位差测量小位移的另一种方法
机译:外差干涉仪角度位移测量的浸没双折射换能器
机译:Ariel性能分析系统在使用广角镜测量角度和线性位移时的准确性,可重复性和误差源。
机译:利用全内反射理论和表面等离子体共振技术进行外差式干涉的小位移传感器
机译:基于外差干涉法测量角位移的双折射折射传感器