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机译:线性和角位移的测量方法以及用于测量线性和角位移的干涉仪
公开/公告号PL376383A1
专利类型
公开/公告日2007-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 POLITECHNIKA WROCŁAWSKA;
申请/专利号PL20050376383
发明设计人 BUDZYNACUTE;GRZEGORZ;RZEPKA JANUSZ;
申请日2005-07-29
分类号G01N33/00;
国家 PL
入库时间 2022-08-21 20:56:37
机译: 线性和角位移的测量方法以及用于测量线性和角位移的干涉仪
机译: 干涉仪系统,特别是用于测量线性和角位移的系统
机译: 干涉仪系统,特别是用于测量线性和角度位移的系统