机译:低k / Cu互连制造的高深宽比硬掩模方案技术进行工艺集成的可行性研究
机译:低k / Cu互连制造的高纵横比硬掩模方案技术进行工艺集成的可行性研究
机译:通过使用负性显影光刻和蚀刻光刻图案,实现具有自对准的56 nm节距的铜双大马士革互连
机译:通过图案化方案和金属硬掩模的效果一体化蚀刻对Cu / Low-K互连的接触电阻
机译:在化学气相沉积的铝金属化方案中集成聚四氟乙烯低k电介质材料。
机译:用于进一步缩小超大型集成器件-Cu互连的等离子增强化学气相沉积SiCH膜的低k覆盖层的材料设计
机译:利用角度分辨光散射在IC器件上的Cu / Low-K互连上具有角度分辨光散射的低k电介质的拉曼信号的增强