Semiconductor device measurement; Planarization; Corrosion inhibitors; Electrochemistry; Slurries; Passivation;
机译:抛光参数对Cu CMP过程中不同晶片图案演变的影响
机译:无抑制剂的碱性浆料在铜图案化晶圆CMP上的平面化性能
机译:CMP和CCMP期间具有不同图案化抛光垫的晶片的抛光时间分布
机译:PVD,PECVD和PEALD RU-TAN薄膜的比较直接Cu电镀
机译:基于统计分析和基于传感器的用于半导体应用的铜覆盖晶片的电化学机械抛光(ECMP)建模。
机译:使用使用AuPdPtCu和IR和IR和IR的MACE方法自对准高纵横比硅3D结构的晶圆级集成
机译:晶圆边缘轮廓对STI-CMP工艺性能的影响:基于FEM分析计算的晶片表面压力(机器元件,设计和制造)
机译:簇复杂复分解。双金属和三金属六核簇合物(mm'Ru4(millimicron3-H)2(CO)12(pph3)2)(m == m'== CU,ag或au)的合成,结构和动态行为; m == CU,m'== ag或au; m == ag,m'==