extreme ultraviolet; photoresists; deprotection; photoacid generator; outgassing; mass spectrometer;
机译:极紫外紧凑型光谱仪,用于表征FLASH处的自由电子激光辐射中的谐波含量
机译:分子光刻胶,用于极端紫外线辐射光刻
机译:曝光剂量对模型极紫外光致抗蚀剂反应扩散过程的影响
机译:质谱仪表表征在暴露于极端紫外线辐射的光致抗蚀剂中的反应
机译:使用先进的计量学和拟合技术对极端紫外光刻光刻胶进行表征。
机译:极紫外光致抗蚀剂除气的表征方法
机译:极紫外紧凑型光谱仪,用于表征FLASH处的自由电子激光辐射中的谐波含量