公开/公告号CN100483130C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院大连化学物理研究所;
申请/专利号CN200610011793.2
申请日2006-04-26
分类号G01N30/72(20060101);H01J49/26(20060101);H01J49/08(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周长兴
地址 116023 辽宁省大连市中山路457号
入库时间 2022-08-23 09:02:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-04-29
授权
授权
2008-02-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-31
公开
公开
机译: 冷阴极电离真空计,配备有冷阴极电离真空计的真空处理装置,用于冷阴极电离真空计的使用放电开始辅助电极的压力测定方法,冷阴极电离真空计
机译: 连续熔化和蒸发固体材料的系统和方法,气相沉积涂层系统,连续送入电极,电弧放电设备。通过气相沉积涂层产生电弧放电以电离气相涂层的方法。通过汽相沉积测量涂层系统中蒸发器的电离度和蒸发速率,并去除附着在真空镀膜上的真空室中沉积的材料。
机译: 在激光解吸电离飞行时间质谱仪中完成的