EUV lithography; 193-nm lithography; binary spray cleaning; SRAF damage; PRE; photomask; droplet;
机译:使用先进的喷雾和均匀的液滴控制增强物理清洁
机译:低凝点下利用油滴进行潜热蓄热的基础研究(凝固的油滴与热空气之间直接接触式热交换的冷能释放特性)
机译:低凝点下油滴对潜冷蓄热的基础研究(第四次报告,浮力在冷水溶液中上升时油滴运动和凝固特性的数值计算)
机译:高级光刻光扫描物流液滴喷射特性的根本研究
机译:光刻中高级抗蚀剂系统的基本机理。
机译:亚10 nm特征铬光掩模用于方形金属环阵列的接触光刻构图
机译:油菜籽柴油机喷雾特性及喷雾液滴动力学行为研究
机译:密集喷雾剂中液滴相互作用的基础研究