template cleaning; patterned media; nanoimprint; defect removal; contamination; feature damage; NIL;
机译:使用水溶性PVA,聚乙烯醇,模板的100nm尺寸的纳米压印光刻
机译:纳米压印光刻:模板,压印和晶圆图案转移
机译:先进的胶体光刻:从图案化到应用程序
机译:纳米印记光刻模板的高级清洁型媒体应用
机译:纳米压印光刻的热机械分析。
机译:通过纳米压印光刻技术在纳米图案蓝宝石衬底上进行高质量的AlN外延
机译:纳米压印使用水溶性pVa,聚(乙烯醇),模板的100nm尺寸图案的光刻